本报记者 张 蕾 张宝全

20年来，辽宁希泰科技有限公司总经理孙艳朝，致力于半导体设备关键零部件制造技术创新，带领企业从一个名不见经传的小工厂，成功挺进光刻机制造“新赛道”，成为我国集成电路设备关键零部件龙头企业。

日前，辽宁希泰科技有限公司总投资1亿元建设的“年产50万支集成电路设备关键零部件项目”主体建设工程体已经竣工，项目计划于明年5月底前正式投入使用。

孙艳朝说，新项目的全面实施，不仅是辽宁希泰科技有限公司发展的重要里程碑，也将为营口地区经济发展注入新的活力。项目达产后，产能可以提升30%、产值提高40%，将会再次提升公司的产能和研发能力，并可增加安置社会就业300人左右，为营口市经济建设作出贡献。

位于营口辽河经济开发区的辽宁希泰科技有限公司是一家专业生产集成电路设备关键零部件的高新技术企业。公司成立于2003年，目前拥有10项国家发明专利、32项国家实用新型专利、2项软件注册权，是中国集成电路零部件技术创新联盟成员。

近年来，国内集成电路设备对关键零部件的需求增大，看好市场前景的孙艳朝带领企业紧跟国家战略，深耕我国集成电路设备关键零部件领域，解决“卡脖子”问题，攻克了一个又一个技术难关。在孙艳朝看来，企业成长的关键在于不断创新。

深耕航空航天等高端领域，使诸多集成电路设备关键零部件国产化，孙艳朝的创新求索之路越战越勇，他依托公司开发的五大核心技术平台，在聚焦半导体领域的同时，积极发力刻蚀设备领域，成为国内少数已量产供应7纳米及以下国产刻蚀设备关键零部件的供应商，直接与国际厂商竞争。